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molybdenum target

Molybdène Cible

Les exigences pour les objectifs de molybdène sont nettement plus strictes que celles des industries des matériaux conventionnels. Ces exigences impliquent des aspects tels que la taille, la planéité, la pureté, la teneur en impuretés, la densité, les niveaux de N/O/C/S, la taille des grains et le contrôle des défauts. Des exigences encore plus rigoureuses ou spécialisées comprennent la rugosité de surface, les valeurs de résistance, l'uniformité de la taille des grains, de la composition et de la microstructure, la teneur et la taille des matières étrangères (oxyde), la perméabilité magnétique, la densité ultra-élevée, grains ultra-fins, entre autres.


Le revêtement de pulvérisation magnétron est une technique de dépôt physique en phase vapeur nouvellement développée qui utilise un système de canon à électrons pour focaliser et émettre des électrons sur le matériau plaqué. En suivant le principe d'échange de quantité de mouvement, les atomes sont éjectés hors de la surface cible avec une énergie cinétique élevée et se déposent sur le substrat pour former un film. Le matériau utilisé pour le processus de placage est appelé cible de pulvérisation, qui peut être fabriqué à partir de différents matériaux tels que des métaux, des alliages et des composés céramiques.


Molybdène Cible

Principe de fonctionnement de la cible de molybdène

Les cibles de molybdène sont utilisées dans la production de films minces par le processus de pulvérisation magnétron. Ce processus consiste à bombarder une cible métallique avec des ions de haute énergie, qui éjectent des atomes de la surface cible. Ces atomes éjectés se déposent ensuite sur un substrat pour former un film mince.


Le principe de fonctionnement d'une cible de molybdène consiste à mettre en place un environnement de vide où la cible est placée dans une chambre opposée à un substrat. La cible est généralement en molybdène, car il s'agit d'un métal réfractaire qui a une excellente stabilité thermique et chimique.


Une fois le vide établi, un gaz tel que l'argon est introduit dans la chambre et ionisé par une source de pulvérisation magnétron. Le gaz ionisé est accéléré vers la cible de molybdène, ce qui provoque l'éjection d'atomes de la surface. Ces atomes éjectés volent ensuite vers et se déposent sur le substrat pour former un film ultra-mince.


L'épaisseur et les propriétés du film mince peuvent être contrôlées en ajustant les paramètres de processus tels que la puissance, la pression et le débit de gaz. Les cibles de molybdène peuvent être utilisées pour produire des films minces dans diverses applications, des semi-conducteurs aux cellules solaires et aux dispositifs médicaux.

Molybdène Cible

Avantages des cibles de pulvérisation

01

Polyvalence: les cibles de pulvérisation peuvent déposer des films minces sur une variété de matériaux, y compris les métaux, les alliages, les céramiques et les semi-conducteurs.

02

Haute pureté: Les cibles de pulvérisation peuvent être fabriquées avec des niveaux de pureté élevés et de faibles impuretés, ce qui les rend idéales pour les applications électroniques et semi-conducteurs.

03

Précision: Le processus de pulvérisation permet un contrôle précis de l'épaisseur et des propriétés du film mince déposé.

04

Efficacité: La pulvérisation est un processus rapide et efficace, ce qui le rend idéal pour les applications de production à grand volume.

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Économique: les cibles de pulvérisation ont une longue durée de vie et peuvent être recyclées, ce qui fait du processus un moyen économique et durable de déposer des films minces.

Molybdène Cible

Types de cible de molybdène

Cible planaire de molybdène


  • Pureté: 99.95%

  • Densité: ≥ 10.2g/cm3

  • Gamme de taille: Personnalisation disponible selon les besoins

  • Apparence: L'examen microscopique montre la surface avec un éclat métallique uniforme, sans décoloration d'oxydation/hydrogénation, rayures, déformation, bavures, etc.

  • Application: Il est utilisé pour fabriquer des pièces de chauffage et des pièces d'isolation thermique pour le four de traitement thermique sous vide, et pour produire des digesteurs, des appareils de chauffage, des refroidisseurs, divers ustensiles et dispositifs dans l'industrie chimique. Il est également largement appliqué dans l'industrie aérospatiale, les instruments médicaux et d'autres domaines. La cible de pulvérisation est utilisée pour le revêtement de pulvérisation magnétron, qui est une méthode de dépôt physique en phase vapeur (PVD) nouvellement développée.


Planar Molybdenum Target


Cible rotatoire de molybdène


La cible rotatoire est une sorte de cible de pulvérisation. La cible est transformée en une forme cylindrique, qui est équipée d'un aimant fixe à l'intérieur pour obtenir un revêtement rotatif à une vitesse lente.

Nous pouvons fournir des cibles de pulvérisation de molybdène des tailles suivantes selon les besoins: longueur ≤ 165mm X1000 mm, pureté ≥ 99.95%.

Application: Cellule solaire, verre architectural, verre d'automobile, semi-conducteur, écran plat TV, etc.


Rotatory Molybdenum Target


Large cible de molybdène


La cible de molybdène large de haute pureté est l'une des matières premières clés dans la production du panneau AMOLED. Nos produits incluent des cibles de pulvérisation planes de molybdène ultra-large, de haute pureté et de haute densité adaptées aux TFT-LCD/AMOLED, qui sont principalement utilisées dans la génération de G2.5-G6 TFT-LCD/AMOLED, comblant ainsi le vide de la large cible de molybdène (1800mm) sur le marché chinois.


Wide Molybdenum Target


Molybdène Cible

Principales applications des cibles de pulvérisation

Les cibles de pulvérisation sont utilisées dans un large éventail d'applications, notamment:


  • Industrie des semi-conducteurs: les cibles de pulvérisation jouent un rôle essentiel dans la production de composants microélectroniques et de circuits intégrés.

  • Industrie des cellules solaires: Des cibles de pulvérisation sont utilisées dans la production de cellules solaires pour déposer des films minces sur le substrat.

  • Industrie de l'affichage: Les cibles de pulvérisation sont utilisées dans la production d'écrans plats et d'écrans tactiles.

  • Industrie automobile: Les cibles de pulvérisation sont utilisées pour déposer des films minces sur le verre automobile afin d'améliorer la visibilité et de réduire l'éblouissement.

  • Industrie des revêtements: Les cibles de pulvérisation sont utilisées pour déposer des revêtements durs, décoratifs et résistants à l'usure sur une variété de substrats.

  • Industrie des dispositifs médicaux: Les cibles de pulvérisation sont utilisées dans la production de dispositifs médicaux tels que les stents et les stimulateurs cardiaques.


Dans l'ensemble, la polyvalence des cibles de pulvérisation en fait des composants intégraux dans de nombreuses applications industrielles et technologiques.


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