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molybdenum target bonding

Liaison de cible de molybdène

La liaison cible de molybdène est un processus de fixation d'une cible de molybdène sur une plaque de support. Ce processus consiste à utiliser des techniques de brasage à haute température pour coller la cible de molybdène, ce qui lui permet de résister aux contraintes thermiques et mécaniques élevées lors des processus de pulvérisation. La compatibilité sous vide élevé et l'excellente conductivité thermique des cibles de molybdène les rendent très appropriées pour une utilisation dans les techniques de dépôt à base de plasma telles que le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et la pulvérisation magnétron. La liaison cible est une étape cruciale pour garantir que les cibles de molybdène fonctionnent de manière efficace et fiable au cours de leur durée de vie.

Liaison de cible de molybdène

Principe de fonctionnement de la liaison de la cible de molybdène

La liaison cible de molybdène implique le processus de jonction d'une cible de molybdène à une plaque de support, créant une liaison solide qui peut résister aux environnements à haute température et à haute contrainte nécessaires pour les applications de pulvérisation. Le principe de fonctionnement de la liaison cible au molybdène dépend de la méthode de liaison spécifique utilisée.


Une méthode de liaison courante est le brasage, qui consiste à chauffer un métal d'apport au-dessus de son point de fusion mais en dessous du point de fusion des matériaux de base, lui permettant de s'écouler et de joindre les matériaux ensemble. Cela crée une liaison forte et permanente qui peut résister à des températures et des contraintes élevées.


Une autre méthode de liaison est la liaison par diffusion, un procédé de soudage à l'état solide qui utilise la chaleur et la pression pour joindre les matériaux, permettant aux atomes de se diffuser à travers l'interface et de former des liaisons fortes.


La liaison explosive est une méthode de liaison qui crée une collision à grande vitesse entre deux morceaux de métal, les obligeant à se lier. Cela fournit une liaison forte qui peut résister à des températures et des contraintes élevées.


La méthode de liaison spécifique utilisée dépend de facteurs tels que la taille et la forme de la cible, le type de substrat et l'application prévue. Dans l'ensemble, le principe de fonctionnement de la liaison cible au molybdène consiste à créer une liaison forte et permanente entre la cible et la plaque de support pour résister aux environnements difficiles requis dans les applications de pulvérisation.


Liaison de cible de molybdène

Quelles méthodes sont utilisées pour le collage de la cible de molybdène?

Il existe plusieurs méthodes pour lier des cibles de molybdène à des plaques de support, chacune avec ses propres avantages et limites. La méthode choisie dépendra de facteurs tels que la taille et la forme de la cible, le type de substrat et l'application prévue. Voici quelques méthodes de liaison utilisées pour les cibles de molybdène:


  • Brasage-Cette méthode consiste à coller deux matériaux en chauffant un métal d'apport au-dessus de son point de fusion mais en dessous du point de fusion des matériaux de base, lui permettant de s'écouler et de joindre les matériaux ensemble. Le brasage est une méthode courante utilisée pour coller des cibles de molybdène car il crée une liaison solide et permanente qui peut résister à des températures et des contraintes élevées.

  • Liaison de diffusion-Il s'agit d'un processus de soudage à l'état solide qui utilise la chaleur et la pression pour joindre les matériaux, permettant aux atomes de se diffuser à travers l'interface et de former des liaisons fortes. La liaison par diffusion est préférée lorsqu'une force de liaison élevée est requise sans introduire de contaminants ni compromettre les propriétés du matériau.

  • Liaison explosive-Cette méthode crée une collision à grande vitesse entre deux morceaux de métal, les obligeant à se lier. La liaison explosive fournit une liaison forte et peut résister à des températures et des contraintes élevées.


D'autres méthodes peuvent être utilisées, telles que la liaison par compression thermique, la liaison directe et la liaison par ultrasons. La méthode de liaison choisie dépendra des exigences spécifiques de l'application.


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